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云南半导体器件用镍铂靶材的制备关键技术取得突破
2018-07-19
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日前,由贵研铂业股份有限公司承担的国际合作计划专项—“半导体器件用镍铂靶材的制备关键技术及产业化”通过了项目验收,总体评价为优秀。

项目实施过程中,项目组开展了镍铂靶的真空熔铸及塑性加工、靶材机加工处理、靶材绑定及清洗包装、靶材加工过程中产生的边角料及碎屑及使用后的残靶中的贵金属绿色高效回收等方面的研究,在镍铂靶的微观结构及择优取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技术、异型靶材的冲压成型技术;刀具的选型、装夹工具设计及机加工优化技术;靶材与背板的高可靠性焊接技术;加工过程中产生的边角料清洗再利用技术、Pt的绿色高效化学提纯技术四个方面取得较大突破。

项目实施以来,取得了良好的经济社会效益。公司建成了年产1000片镍铂靶产品示范生产线,形成了长方状、碗状和圆形3种外形,5种不同Pt含量的镍铂靶材产品,技术性能指标及尺寸精度满足了用户使用要求,实现了替代进口并出口至美国知名半导体公司。累计销售各类镍铂靶材1300片,实现产值1.05亿元,销售利润1946.39万元,其中出口创汇517.2万美元。2017年,产品获得第19届深圳高交会优秀产品奖。期间,申请发明专利20件,授权9件,发表论文22篇;引进海归博士1人,培养在职博士生4人,培养硕士研究生3人,4人晋升副高职称;团队先后入选昆明市科技创新团队,云南省创新团队培育对象、云南省工人先锋号。

 

镍铂靶材成品照片                  镍铂靶材微观结构照片